物理学报
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物理学报  2019, Vol. 68 Issue (14): .      DOI: 10.7498/aps.68.20190252
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矢量光共焦扫描显微系统纳米标准样品的制备与物理测量精度
李潇男1,2, 关国荣1, 刘忆琨1, 梁浩文1, 张爱琴1, 周建英1
1. 中山大学, 光电材料与技术国家重点实验室, 广州 510275;
2. 中山大学电子与信息工程学院, 广州 510275
Fabrication and physical measurement accuracy of nanoscale standard samples for vector beams confocal laser scanning microscopy
Li Xiao-Nan1,2, Guan Guo-Rong1, Liu Yi-Kun1, Liang Hao-Wen1, Zhang Ai-Qin1, Zhou Jian-Ying1
1. State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, Sun Yat-sen University, Guangzhou 510275, China;
2. School of Electronic and Information Engineering, Sun Yat-sen University, Guangzhou 510275, China


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