超导转变边沿单光子探测器原理与研究进展
物理学报
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物理学报  2014, Vol. 63 Issue (20): 200303     doi:10.7498/aps.63.200303
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超导转变边沿单光子探测器原理与研究进展
张青雅1 2, 董文慧1 2, 何根芳1 2, 李铁夫1 2, 刘建设1 2, 陈炜1 2
1. 清华大学, 清华信息科学与技术国家实验室, 北京 100084;
2. 清华大学微电子与纳电子学系, 微电子学研究所, 北京 100084
Review on superconducting transition edge sensor based single photon detector
Zhang Qing-Ya1 2, Dong Wen-Hui1 2, He Gen-Fang1 2, Li Tie-Fu1 2, Liu Jian-She1 2, Chen Wei1 2
1. Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Tsinghua University, Beijing 100084, China;
2. Institute of Microelectronics, Department of Micro/Nanoelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China

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